自動橢圓偏振測厚儀 XB-TPY-2

  型號：XB-TPY-2

產(chǎn)品編號：TC-003272

產(chǎn)品特點：

儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率，具有精度高、靈敏度高以及自動控制等特點。光源采用氦氖激光器，功率穩(wěn)定波長精度高。

儀器采用USB接口與電腦連接，配套軟件功能齊全，具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式，適用于不同用戶的需要。

自動橢圓偏振測厚儀 XB-TPY-2 

規(guī)格與主要技術(shù)指標(biāo)：

測量范圍：薄膜厚度范圍1nm-4000nm     折射率范圍：1-10   

測量zui小示值：≤1nm                  入射角：20°- 90°精度≤0.05°

度盤刻度：每格1度                    允許樣品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm

偏振器步進角：0.014°/步               偏振器方位角范圍：0°- 180°    

測量膜厚和折射率重復(fù)性精度分別為：0.5nm和0.005

儀器測量精度：±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm時）

光學(xué)中心高度：80mm   

成套性：主機、電控系統(tǒng)、USB接口、配套軟件（需配計算機）

主機重量：26kg    外形尺寸：680*390*310mm

產(chǎn)品名稱：靈巧型勻膠機  產(chǎn)品型號： EZ6

靈巧型勻膠機 型號：EZ6
　　EasyCoater 6勻膠機被設(shè)計為涂膠處理小碎片至6英寸圓晶尺寸底物，使用工業(yè)級直流馬達和單片機控制，5寸全彩觸屏人機界面操作，簡單易用。EZ6勻膠機在材料、化學(xué)或生物等實驗室被廣泛用于薄膜制備，納米薄膜研究等相關(guān)領(lǐng)域。 
　　EZ6勻膠機設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)為結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用，程控操作，且能夠升級自動點膠功能，尺寸上可從通用的手套箱過渡艙內(nèi)進出，具有優(yōu)異的性價比。亦可提供分體式設(shè)計，進行嵌入式安裝，與手套箱進行配合。 

產(chǎn)品性能參數(shù)： 


支持wafer尺寸：1cm-150mm（6"圓晶） 

速度可調(diào)范圍：200-10000rpm 
加速度可調(diào)范圍：100-10000rpm/s 
轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm  
轉(zhuǎn)速精度：＜±5rpm 
可編程10組10步程序  
寬電壓輸入：AC100-230V 
產(chǎn)品特性優(yōu)點： 
100W 直流無刷電機，PLC 控制 
5”全彩觸摸屏  
系統(tǒng)中英文可選 

帶一只自動點膠端口，可升級自動點膠功能 
HDPE 內(nèi)腔，SUS 外殼，耐溶劑PC 透明蓋  
真空互鎖及蓋子開關(guān)互鎖安全功能 
產(chǎn)品外型尺寸：358mm(D)*256mm(W)*258mm(H)